鹿国庆：博士，讲师

邮箱：lugq_ciomp@163.com

研究方向：极紫外光刻Mo/Si多层膜设计及表面污染研究

个人履历

鹿国庆，1986年10月生，江苏徐州人，博士，讲师，2014年博士毕业于中国科学院大学，现任职于光电信息科学与工程系。主要承担《工程光学》、《Matlab软件应用》等专业课程的教学任务。主要研究方向为极紫外光刻Mo/Si多层膜设计及表面污染研究等，在国内外学术刊物上发表论文5篇、10余篇实用新型专利和计算机软件著作权。

承担项目

1.基于拉曼散射的海水温度遥感技术研究，江苏省海洋资源开发研究院，开放基金课题，JSIMR202025，2021-2022，在研，主持。

学术及科研成果

论文

1.吴义恒，鹿国庆，何敏，占生宝，沈永才.复折射率介质一维光子晶体的透射特性[J].吉林大学学报（理学版），2017，55（1）：150-153.（CSCD）

2.Yiheng Wu,Fei Cheng,Yongcai Shen,Guoqing Lu,Lingli Li.One-waytransmission through merging of magnetic defect state and optical Tamm states[J].Optik, 2016, 127(8):3740-3744.(SCI)

3.鹿国庆，吴义恒，李伶俐，卢启鹏.应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展[J].科学技术与工程，2016,16（11）：125-132.（北大核心）

4. Gong Xuepeng, Lu Qipeng,Lu guoqing. Establishment of theoretical model and experimental equipment for researching on carbon contamination of EUV multilayer mirror[C]. Proc. of SPIE, 2015, 9446: 94460W-1-94460W-7.（会议论文）

5.鹿国庆，卢启鹏，彭忠琦，龚学鹏.极紫外光学元件表面碳污染模型的建立[J].光学学报，2013，33（12）：1234001-1-1234001-7.（EI）

授权实用发明专利和计算机软件著作权

1.鹿国庆.一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置. 2021-6-11,中国,ZL 2020 2 2504495.5.（实用新型专利）

2.鹿国庆.一种对极紫外光刻机表面去污的装置. 2021-6-11,中国,ZL 2020 2 2503200.2.（实用新型专利）

3.鹿国庆.一种光刻机的取片装置. 2020-09-29,中国, ZL202020639334.4.（实用新型专利）

4.鹿国庆.一种物理光学实验设备. 2018-5-1,中国, CN207302444U.（实用新型专利）

5.鹿国庆,沈永才.一种曲面光学镜片. 2018-1-19,中国, CN206906674U.（实用新型专利）

6.鹿国庆,基于拉曼光谱的海水温度遥测实时记录软件, 2021SR1142171, 2021-8-3.（软件著作权）

7.鹿国庆,基于拉曼光谱的海水温度自动化测量监控系统,2021SR1146954, 2021-8-4.（软件著作权）

8.鹿国庆. Zemax交互式三维光学模拟仿真设计平台. 2020SR0938093, 2020-6-19.（软件著作权）

9.鹿国庆.基于光学仿真研究的分光光度仪模拟软件. 2020SR0631707, 2020-4-20.（软件著作权）

10.鹿国庆.基于Matlab的光学实验仿真平台. 2019SR1190286, 2019-9-11.（软件著作权）

11.鹿国庆.激光雷达遥感数据处理系统. 2019SR0634228, 2019-1-2.（软件著作权）