高性能的空穴选择性钝化接触对于获得基于全区域载流子选择性接触的高效率太阳能电池至关重要。本研究制备了 Al_₂O_₃/ MoOₓ/Ag 空穴选择性钝化接触，并将其应用于 p 型隧穿氧化层钝化接触（TOPCon）太阳能电池的背面。研究发现，作为隧穿层的超薄原子层沉积（ALD）Al_₂O_₃ 在提升 Al_₂O_₃ / MoOₓ / Ag 结构的空穴选择性方面发挥了关键作用，其最佳厚度约为0.56 nm。基于 Al_₂O_₃ (0.56 nm)/MoO_x (7 nm)/ Ag (120 nm) 结构，获得了1.84 mΩ‧cm²的超低接触电阻率。得益于这种高性能的空穴选择性，该 p 型 TOPCon 太阳能电池成功实现了21.16 %的最高效率，据我们所知，这是目前基于 MoOₓ 的 p 型 TOPCon 太阳能电池的最高效率。该研究表明，Al_₂O_₃ / MoO_x / Ag 空穴选择性钝化接触在全区域载流子选择性接触太阳能电池中具有巨大应用潜力。

相关研究成果在国际著名期刊《Solar Energy》（IF:6.6;中科院二区JCRQ2期刊）上在线发表，论文链接：https://doi.org/10.1016/j.solener.2022.10.019